사례 연구: 반도체 시설을 위한 오염 없는 궤도 용접
동남아시아의 한 반도체 제조 공장은 고순도 가스 공급 시스템에 대해 초청정 궤도 용접이 필요했습니다. 이 프로젝트는 거울처럼 매끄러운 내부 용접 비드, 최소한의 열 영향부, 모든 조인트의 완전한 추적성을 요구했습니다. Hyzont의 클린룸 궤도 심 용접기(모델 CHF-45)가 이 작업에 선정되었습니다.
과제
- 클린룸 환경에서 38-114mm 전해 연마 스테인리스 스틸 튜브 용접
- 용접 영역 내부의 오염 및 산화 제로
- 반도체 산업 감사에 대한 엄격한 문서 요구 사항
- 높은 듀티 사이클을 갖춘 연속 작동
솔루션
CHF-45 클린룸 궤도 심 용접기는 연속 작동 중 안정적인 온도를 유지하는 수냉식 용접 헤드를 특징으로 하여 모든 조인트에서 일관된 용접 깊이를 보장합니다.
| 튜브 직경 범위 | 38 - 114 mm |
| 용접 공정 | TIG 융합 및 궤도 회전 |
| 냉각 | 통합 수냉 시스템 |
| 가스 퍼지 | 자동 사전/사후 퍼지 사이클 |
| 환경 | 클린룸 호환 설계 |
결과
- 용접 비드 내부 프로파일이 첫 검사에서 SEMI 표준 충족
- 보어스코프 검사로 확인된 산화 없는 조인트
- 데이터 로깅으로 모든 용접에 대한 완전한 추적성 제공
- 프로젝트, 예정보다 2주 조기 완료
해당 반도체 시설은 모든 신규 장비 설치 및 시설 확장에 Hyzont 클린룸 용접기를 계속 사용하고 있습니다.
반도체 가스 시스템에서 깨끗한 용접의 중요성
반도체 제조에서 공정 가스는 초순도를 유지해야 합니다. 용접된 조인트의 오염은 웨이퍼 수율을 저하시킬 수 있는 입자, 습기 또는 산소를 유입시킬 수 있습니다. 적절한 가스 퍼지를 사용한 궤도 용접은 입자 포집 및 탈기를 최소화하는 부드럽고 틈새 없는 내부 용접 비드를 생성합니다. 수냉식 용접 헤드는 과열 없이 연속 작동을 허용하여 장기간의 생산에서도 일관된 용접 품질을 유지합니다.
포괄적인 용접 문서화
- 모든 용접 조인트는 자동으로 번호가 매겨지고 기록됩니다.
- 전류, 전압, 이동 속도 및 가스 흐름과 같은 용접 매개변수가 기록됩니다.
- 품질 보증 기록 및 고객 보고를 위한 USB를 통한 데이터 내보내기
- 실시간 모니터링은 매개변수 편차 발생 시 작업자에게 경고합니다.
서비스 산업
반도체 제조 외에도 Hyzont 클린룸 궤도 용접기는 제약 클린룸, 생명공학 시설, 식품 및 음료 가공, 유제품 공장, 양조장 및 특수 가스 산업에서 널리 사용됩니다. 동일한 기계 플랫폼은 6mm에서 114mm까지의 튜브 직경을 커버하기 위해 다른 용접 헤드 크기로 구성할 수 있어 시설과 함께 성장하는 유연한 투자를 제공합니다.
지원 및 서비스
Hyzon은 포괄적인 사전 판매 상담, 설치 감독, 작업자 교육 및 평생 기술 지원을 제공합니다. 당사의 국제 서비스 팀은 최소한의 가동 중단을 보장하기 위해 신속하게 대응합니다. 예비 부품은 전 세계적으로 신속하게 배송되며, 당사의 엔지니어는 원격 진단을 통해 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다.
시연 요청
실제 튜브를 사용한 라이브 시연 또는 샘플 용접 테스트를 예약하려면 Hyzont에 문의하십시오. 당사의 응용 엔지니어는 귀하의 요구 사항을 평가하고 클린룸 궤도 심 용접기가 귀하의 순도, 품질 및 생산성 목표를 어떻게 충족할 수 있는지 시연할 것입니다.



